潔淨室空氣潔淨度如何(hé)檢測
一、實(shí)驗室之潔淨(jìng)室的空(kōng)氣潔(jié)淨度,應進行下列測試:
(一)空態、靜(jìng)態測試空態(tài)測試:潔淨室已竣工,淨(jìng)化空氣調節係統已處於正常運行(háng)狀態,室內沒(méi)有工藝設備和生產人員的情況下邊行測試。
靜態測試:潔(jié)淨室淨化空氣調節(jiē)係統已處於正常運行狀態(tài),工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測(cè)試(shì)。
(二)動態測試 潔淨室(shì)已處於正常生產狀態下進行測試。
潔淨室的(de)風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
二、空態、靜態測試(shì)
(一)測(cè)試前的準備
1、應對潔淨室及其淨化空氣調節係統進行徹底清潔。
2、采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先(xiān)測定高效空氣過濾器的(de)上(shàng)風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大於或等於0.5微(wēi)米的塵粒數應為大於或等於30,000粒/升。如若不夠,可引入煙(yān)霧,然後開始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝(zhuāng)置)的采樣口距離高效空氣過(guò)濾器2--3厘米處,可以2~4厘米/秒的速(sù)度移動,對高效空氣過濾器整個斷麵封頭(tóu)膠處和安(ān)裝框架處(chù)進(jìn)行掃描。
當粒子計數器讀數為空氣口大於或等(děng)於0.5微米的塵粒超過(guò)3粒/分·升(或其穿透率大於0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。
(二)測試內容(róng)
1、總送風(fēng)量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;
2、潔淨室壓力值;
3、層流潔淨室斷麵風速和氣(qì)流流向;
4、潔淨工作(zuò)區(qū)的潔淨度;
5、室內溫度(dù)、濕度(dù)及其(qí)控製能力的調(diào)整測試(shì);
6、潔淨室內噪聲。
(三)潔淨工作區空氣潔淨度的測試(shì)方法 對於粒徑大於或等於0.5微米的塵粒計數,宜采用(yòng)光散射粒(lì)子(zǐ)計數法。對於粒徑大於或等於5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。光散射(shè)粒(lì)子計數法(fǎ):
1、光散射粒子計數器采樣量 100級:每(měi)次采樣量(liàng)大於或等於1升。 l,000級-l0,000級:每次采樣量大於或等於0.3升。 100,000級:每次采樣(yàng)量大於或等於0.1升。 對於100級潔淨室,宜采(cǎi)用大流量粒子計數器進行測試(shì); 如果條件不具(jù)備時,可采用每次采樣量不小於1升的粒子計數器。
2、采樣注意事項:
(1)采樣管必(bì)須幹淨,連接處嚴禁滲漏。
(2)采樣管的長度(dù),應(yīng)根據(jù)儀器的允許長度。當無規定時,不宜大於1.5米。
(3)采樣管口的流速,宜與潔淨室(shì)斷麵平均風速相接近。測(cè)試人員應在采樣口的下風側。
(4)采樣順(shùn)序應按含塵濃度從低到高進(jìn)行。
3、測點布置
(l)檢測在潔淨工作區內進行(háng)。當生產工藝無(wú)特殊要求時,取樣高度宜為離地麵1米
(2)層流(liú)潔淨室測點總數不小於20點,測(cè)點間距為(wéi)0.5~2.0米,粒徑大於或等於0.5微米的塵(chén)粒數(shù)允許有一個點超過。水平層流潔淨室測點(diǎn)僅布置在第一潔淨工作區內。
(3)亂流潔淨(jìng)室可按潔淨麵積小於或等於(yú)50平方米布置5個測點(附圖2)。 每增加20-50平方米,增加3--5個測點。
4、數據整理
(1)每個測點的數據整理應(yīng)在測試儀(yí)器穩定運行的條件下連續三次采(cǎi)樣,取其平均值,即為該(gāi)點的實測數值。
(2)對於大於或等(děng)於0.5微米的(de)塵(chén)粒數確定:層流潔淨(jìng)室取各測定點最大值,亂流潔淨室取各測點(diǎn)的(de)平均值(zhí)。